產(chǎn)品說明

ZMI-2002 8020-0211-1-J是一款專為高精度位移和角度測(cè)量設(shè)計(jì)的雙軸測(cè)量板，適用于精密機(jī)械、半導(dǎo)體設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、運(yùn)動(dòng)控制和自動(dòng)化系統(tǒng)等領(lǐng)域。該產(chǎn)品采用先進(jìn)的干涉測(cè)量技術(shù)，能夠提供精確和可靠的測(cè)量結(jié)果。

產(chǎn)品參數(shù)

測(cè)量軸數(shù)：雙軸

分辨率：小于1納米（<1 nm）

精度：±0.1微米（0.1μm）

工作溫度：0°C至+40°C

保護(hù)等級(jí)：IP54

尺寸：229 x 114 x 29 mm

重量：1.2 kg

光源：633 nm激光

傳感器：CMOS陣列

測(cè)量范圍：X軸：50 mm，Y軸：25 mm。

產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)：ZMI-2002 8020-0211-1-J

品牌：ZYGO

系列：ZMI-2000

接口類型：6U VME接口

工作電壓：220VAC

工作頻率：50Hz

最大功率：2000W

工作溫度范圍：-20℃到50℃。

系列與特征

ZMI-2002 8020-0211-1-J屬于ZYGO公司的ZMI系列，該系列專注于納米位置傳感器和位移測(cè)量干涉儀。其主要特征包括：

高精度和穩(wěn)定性

雙軸測(cè)量功能

高采樣率和寬輸入范圍

支持多種通信接口，如USB、以太網(wǎng)、RS485等。

特征與作用

該測(cè)量板具有高精度、高可靠性的特點(diǎn)，適用于需要高精度測(cè)量的應(yīng)用場(chǎng)景。其雙軸設(shè)計(jì)和6U VME接口使其能夠提供精確的測(cè)量結(jié)果，并簡(jiǎn)化了與伺服卡或電機(jī)控制器的連接。

用途與應(yīng)用領(lǐng)域

ZMI-2002 8020-0211-1-J廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、精密制造等領(lǐng)域，用于測(cè)量各種光學(xué)元件和表面的形貌、輪廓等參數(shù)。此外，它也適用于工業(yè)自動(dòng)化、質(zhì)量控制和科研測(cè)試等領(lǐng)域。