產(chǎn)品說明

ZYGO ZMI-4104是一款基于干涉原理的高精度激光干涉儀系統(tǒng)，主要用于表面形貌和位移的測(cè)量。它采用ZYGO公司自主研發(fā)的氦-氖激光源，并運(yùn)用先進(jìn)的干涉測(cè)量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)長(zhǎng)度、角度和位移等物理量的高精度測(cè)量。

產(chǎn)品參數(shù)

波長(zhǎng)：633nm

頻率穩(wěn)定度：<0.0001nm

相干長(zhǎng)度：>100m

最小光功率：8.0μW、1.9μW、1.0μW、0.07μW

最小電壓：1.0 V

位置分辨率：優(yōu)于納米級(jí)（具體為0.1nm）

最大速度：10mm/s

測(cè)量誤差：小于0.25μm。

產(chǎn)品規(guī)格

ZYGO ZMI-4104具有高精度和高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，其結(jié)構(gòu)緊湊且具備自動(dòng)校準(zhǔn)功能，使其成為高精度測(cè)量的理想選擇。此外，該設(shè)備支持多種通信協(xié)議，如RS232、USB等，適用于各種溫度和濕度環(huán)境。

系列與特征

ZYGO ZMI-4104屬于ZYGO的ZMI系列，該系列還包括其他型號(hào)如ZMI-2002等。其主要特征包括高采樣率、寬輸入范圍、高穩(wěn)定性和低噪聲性能，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

作用與用途

ZYGO ZMI-4104的主要作用是提供高精度的位移測(cè)量，適用于各種精密測(cè)量應(yīng)用。具體用途包括：

半導(dǎo)體制造：用于監(jiān)控和測(cè)量半導(dǎo)體設(shè)備中的微小位移。

精密工程：用于精密機(jī)械和儀器的校準(zhǔn)和測(cè)試。

納米技術(shù)：在納米尺度上進(jìn)行測(cè)量和分析。

科學(xué)研究：在物理、化學(xué)和生物科學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行高精度實(shí)驗(yàn)。

應(yīng)用領(lǐng)域

ZYGO ZMI-4104被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、精密制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域，特別是在需要高精度位移測(cè)量的應(yīng)用中，如機(jī)器視覺、自動(dòng)化控制、精密加工等。此外，它還被用于航空航天領(lǐng)域，用于航空航天器的精密裝配和測(cè)試。

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